Исследование процессов ионной обработки материалов и ионноплазменного распыления материалов
Орликов Л. Н.
Целью данных лабораторных работ является изучение процесса ионной обработки материалов, выяснение механизма ионного травления, расчеты параметров ионного травления; детальное рассмотрение триодной системы ИПР с целью изучения ее принципа конструирования, электрофизических характеристик. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Процессы лазерной и электронно-ионной обработки» и направления 12.04.03 – «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Лазерные и электронно-ионные технологии фотоники».
Année:
2019
Editeur::
ТУСУР
Langue:
russian
Fichier:
PDF, 821 KB
IPFS:
,
russian, 2019